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Chimie - Matériaux
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Ingénierie des systèmes complexes et logiciels
Micro et nanotechnologies : lithographies, couches minces, caractérisations
Plateforme technologique
Notre plateforme dispose de nombreux équipement dédiés à la fabrication, la mise en forme et la caractérisation de couches minces. Nous disposons par exemple d'un microscope électronique à balayage équipé d'un spectromètre en énergie pour la micro analyse chimique, et d'un système de lithographie électronique pour la nano-structuration des couches minces. Nous disposons également de bâtis de dépôts de couches minces, d'une machine de photolithographie par écriture directe (sans masque physique). Notre plateforme propose aussi de nombreux équipements dédiés aux microtechnologies : nettoyage par plasma, profilométrie, microsoudure, mesures sous pointes.
Thématiques d'innovation
Laboratoire de rattachement
1, rue Nicolas Appert
LPS, campus universitaire d'Orsay, Bâtiment 510
91400 ORSAY
Technologies utilisées
Microscope électronique à balayage à émission de champ, système de lithographie électronique et spectromètre EDS pour la micro-analyseMots clés
- couches minces
- microscope électronique à balayage
- micro-analyse
- lithographie électronique
- lithographie optique
Equipements spécifiques
| Nom | Modèle | Marque |
|---|---|---|
| Lithographie électronique | Logiciel NPGS/ | |
| Microscope électronique à balayage à émission de champ Supra55VP | Supra55VP/ | Zeiss |
| Spectromètre pour la micro-analyse | Quantax/ | Brucker |
Lien vers les équipements
Offres de formations
Département(s) de recherche
- PHOM (Physique des ondes et de la matière)