-
Chimie - Matériaux
-
Ingénierie des systèmes complexes et logiciels
Spectrométrie de Masse d'Ions Secondaires (SIMS)
Plateforme technologique
Le GEMaC est équipé d'un analyseur ionique récent (IMS7f CAMECA). Cet appareillage permet d'analyser les matériaux solides, supportant la mise sous vide poussé, par la technique de Spectrométrie de Masse d'Ions Secondaires (SIMS). L'IMS7f est destiné principalement à la détermination de la concentration des dopants ainsi qu'à leurs distributions, le contrôle des impuretés résiduelles, la qualité des interfaces dans les matériaux semi-conducteurs (de hautes technologies).
Thématiques d'innovation
Laboratoire de rattachement
45, avenue des Etats-Unis
UVSQ, campus des Sciences, Bâtiment Fermat
78000 VERSAILLES
Spécificités
Destiné principalement aux applications de profilométrie de concentration, ce « SIMS dynamique à secteur magnétique » se distingue par une très bonne résolution en profondeur (quelques nm), une grande sensibilité et d'excellentes limites de détection (1E14 at.cm-3) et l'accès à la haute résolution en masse (M/?M= 10000)Technologies utilisées
SIMS dynamique à secteur magnétiqueMots clés
Equipements spécifiques
| Nom | Modèle | Marque |
|---|---|---|
| Analyseur ionique à secteur magnétique | 7f/ | CAMECA |
Lien vers les équipements
Offres de formations
Département(s) de recherche
- PHOM (Physique des ondes et de la matière)