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Ingénierie des systèmes complexes et logiciels
CeMOX - Couches Minces pour l'Optique X
Plateforme technologique
La plateforme Couches Minces pour l'Optique X (CeMOX) est une plateforme de la fédération Lumière-Matière (LUMAT).
CeMOX comprend 2 machines de dépôt par pulvérisation cathodique magnétron pour l'élaboration d'optiques multicouches X et Extrême UV ainsi qu'un réflectomètre à rayons X rasant pour caractériser ces empilements de couches minces nanométriques.
Thématiques d'innovation
Laboratoire de rattachement
2, avenue Augustin Fresnel
LCF / Institut d'Optique Graduate School
91120 PALAISEAU
Spécificités
Dépôt et caractérisation de couches minces pour l'optique X et Extrême UVTechnologies utilisées
Développement d'optiques XUV pour le spatial, le synchrotron, les sources cohérentes ultra-brèves, les diagnostics plasmas (LMJ), la microscopie X.Mots clés
Equipements spécifiques
| Nom | Modèle | Marque |
|---|---|---|
| Machine de dépôt par pulvérisation cathodique magnétron MP1000 | MP1000/ | PLASSYS |
| Machine de dépôt par pulvérisation cathodique magnétron MP800S | MP800S/ | PLASSYS |
| Réflectomètre X | Discover D8/ | BRUKER |
Lien vers les équipements
Offres de formations
Département(s) de recherche
- PHOM (Physique des ondes et de la matière)