• Ingénierie des systèmes complexes et logiciels

CeMOX - Couches Minces pour l'Optique X

Plateforme technologique

Description

La plateforme Couches Minces pour l'Optique X (CeMOX) est une plateforme de la fédération Lumière-Matière (LUMAT).

CeMOX comprend 2 machines de dépôt par pulvérisation cathodique magnétron pour l'élaboration d'optiques multicouches X et Extrême UV ainsi qu'un réflectomètre à rayons X rasant pour caractériser ces empilements de couches minces nanométriques.

Contacts

  • M. Franck DELMOTTE
  • M. Evgueni MELTCHAKOV

http://www.cemox.u-psud.fr/

Thématiques d'innovation

Laboratoire de rattachement

Plan et accès

2, avenue Augustin Fresnel
LCF / Institut d'Optique Graduate School
91120 PALAISEAU

Equipements et technologies

Spécificités

Dépôt et caractérisation de couches minces pour l'optique X et Extrême UV

Technologies utilisées

Développement d'optiques XUV pour le spatial, le synchrotron, les sources cohérentes ultra-brèves, les diagnostics plasmas (LMJ), la microscopie X.

Mots clés

Equipements spécifiques

Nom Modèle Marque
Machine de dépôt par pulvérisation cathodique magnétron MP1000 MP1000 PLASSYS
Machine de dépôt par pulvérisation cathodique magnétron MP800S MP800S PLASSYS
Réflectomètre X Discover D8 BRUKER

Lien vers les équipements

http://www.cemox.u-psud.fr/Tools.html

Prestations & formations

Offres de formations

Support technique disponible

Écosystème

Département(s) de recherche

  • PHOM (Physique des ondes et de la matière)

Écoles doctorales

Physique