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Chimie - Matériaux
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Ingénierie des systèmes complexes et logiciels
AdN - Atelier de Nanofabrication du SPEC
Plateforme technologique
Le SPEC est équipé d’un atelier de nanofabrication qui permet aux groupes de recherche d’y réaliser leurs échantillons. Cette installation du CEA, labellisée « centrale de proximité » en 2004 par le Ministère de l’Enseignement Supérieur et de la Recherche bénéficie également du soutien du CNRS, de la région Île-de-France et de l’ANR (Agence nationale de la Recherche).
Thématiques d'innovation
Laboratoire de rattachement
Route de l'Orme aux Merisiers
Bât. 772-771, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
91190 GIF-SUR-YVETTE
Spécificités
L'atelier est constitué d'une salle blanche de classe 10000 réalisée en 2006 (115 m²) et d'une salle "grise" de classe 100000 (50 m²). La première est équipée pour la lithographie optique, la préparation d'échantillons (gravures chimiques humides et sèches) et la caractérisation. La seconde accueille des équipements de dépôt de couches minces (2 évaporateurs, 2 pulvérisations) et un masqueur électronique de recherche.Mots clés
Offres de formations
L'accès est en libre service pour les personnes ayant reçu les formations nécessaires. Des utilisateurs extérieurs peuvent y avoir accès dans le cadre d'une collaboration active avec au moins une équipe du SPEC. Lorsqu'un projet extérieur est soumis, il est présenté au comité de pilotage qui en évalue la faisabilité avec les moyens existants. Pour qu'un tel projet puisse être accepté, il est indispensable qu'un groupe du SPEC prenne en charge l'encadrement et l'assistance aux utilisateurs qui conduisent ce projet.
Département(s) de recherche
- PHOM (Physique des ondes et de la matière)