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Chimie - Matériaux
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Ingénierie des systèmes complexes et logiciels
AdN - Atelier de Nanofabrication du SPEC
Plateforme technologique
Le SPEC est équipé d’un atelier de nanofabrication qui permet aux groupes de recherche d’y réaliser leurs échantillons. Cette installation du CEA, labellisée « centrale de proximité » en 2004 par le Ministère de l’Enseignement Supérieur et de la Recherche bénéficie également du soutien du CNRS, de la région Île-de-France et de l’ANR (Agence nationale de la Recherche).
Thématiques d'innovation
Laboratoire de rattachement
Route de l'Orme aux Merisiers
Bât. 772-771, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
91190 GIF-SUR-YVETTE
Spécificités
L'atelier est constitué d'une salle blanche de classe 10000 réalisée en 2006 (115 m²) et d'une salle "grise" de classe 100000 (50 m²). La première est équipée pour la lithographie optique, la préparation d'échantillons (gravures chimiques humides et sèches) et la caractérisation. La seconde accueille des équipements de dépôt de couches minces (2 évaporateurs, 2 pulvérisations) et un masqueur électronique de recherche.Mots clés
Offres de formations
Département(s) de recherche
- PHOM (Physique des ondes et de la matière)