• Chimie - Matériaux
  • Ingénierie des systèmes complexes et logiciels

AdN - Atelier de Nanofabrication du SPEC

Plateforme technologique

Description

Le SPEC est équipé d’un atelier de nanofabrication qui permet aux groupes de recherche d’y réaliser leurs échantillons. Cette installation du CEA, labellisée « centrale de proximité » en 2004 par le Ministère de l’Enseignement Supérieur et de la Recherche bénéficie également du soutien du CNRS, de la région Île-de-France et de l’ANR (Agence nationale de la Recherche).

Contacts

Thématiques d'innovation

Laboratoire de rattachement

Plan et accès

Route de l'Orme aux Merisiers
Bât. 772-771, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
91190 GIF-SUR-YVETTE

Equipements et technologies

Spécificités

L'atelier est constitué d'une salle blanche de classe 10000 réalisée en 2006 (115 m²) et d'une salle "grise" de classe 100000 (50 m²). La première est équipée pour la lithographie optique, la préparation d'échantillons (gravures chimiques humides et sèches) et la caractérisation. La seconde accueille des équipements de dépôt de couches minces (2 évaporateurs, 2 pulvérisations) et un masqueur électronique de recherche.

Mots clés

Prestations & formations

Offres de formations

L'accès est en libre service pour les personnes ayant reçu les formations nécessaires. Des utilisateurs extérieurs peuvent y avoir accès dans le cadre d'une collaboration active avec au moins une équipe du SPEC. Lorsqu'un projet extérieur est soumis, il est présenté au comité de pilotage qui en évalue la faisabilité avec les moyens existants. Pour qu'un tel projet puisse être accepté, il est indispensable qu'un groupe du SPEC prenne en charge l'encadrement et l'assistance aux utilisateurs qui conduisent ce projet.

Écosystème

Département(s) de recherche

  • PHOM (Physique des ondes et de la matière)

Écoles doctorales

Physique