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Ingénierie des systèmes complexes et logiciels
Metrologie (Metrology and Test beamline)
Plateforme technologique
Métrologie est l'une des lignes de lumière du synchrotron SOLEIL. Elle est constituée de deux branches utilisant le rayonnement synchrotron dans les domaines X-mous et X-durs (métrologie dite à la longueur d'onde), en collaboration avec le Laboratoire National d'Essais (LNE) et le CEA-DIF. Les lignes de lumière permettent la caractérisation d'optiques X et de détecteurs X.
- M. Pascal MERCÈRE
- M. Paulo DASILVA
Thématiques d'innovation
Route de l'Orme aux Merisiers
Saint-Aubin BP 48
91190 GIF-SUR-YVETTE
Spécificités
Caractérisation d'optiques X : réflectivité de surface ? efficacité de diffraction de réseaux et de multicouches ? transmission de filtresCaractérisation de détecteurs X
Analyse de surface d'onde ? Métrologie et imagerie de phase
Photolithographie Rayons X
Technologies utilisées
RéflectométrieSpectroscopie d'absorption
Spectrométrie de fluorescence
Analyse de surface d'onde
Photolithographie Rayons X
Mots clés
Equipements spécifiques
| Nom | Modèle | Marque |
|---|---|---|
| Aimant de courbure | D05-1/ | |
| Goniomètre 3-axes | Soft X-ray Hard X-ray/ | |
| Monochromateur X-durs | Double Crystal Si(111) 3 ? 40 keV/ | |
| Monochromateur X-mous | Hettrick-Underwood / VLS plane gratings 30 ? 1900 eV/ | |
| Station de Photolithographie profonde rayons X | Hard X-ray/ | |
| Table Optique | Hard X-ray/ |
Lien vers les équipements
Offres de formations
Etablissements de rattachement
Département(s) de recherche
- PHOM (Physique des ondes et de la matière)